Офис в Москве:
111123, г. Москва,
Плеханова, 4а
8 800 770-03-06
+7 (495) 771-72-52
Офис в Сарове:
607190, Нижегородская обл., г. Саров,
ул. Герцена, 46, оф. 201, 202
+7 (831) 309-19-58
+7 (831) 309-21-53
Почтовый адрес:
111141, г. Москва
ул. Плеханова, 4а
info@fug-elektronik.ru
Главная / Применение / Электронно-лучевая литография

Электронно-лучевая литография

В принципе, установка электронно-лучевой литографии подобна растровому электронному микроскопу. Но если в случае электронной микроскопии материалы лишь исследуются и не подвергаются изменениям, при литографии электронный пучок должен обладать плотностью энергии, достаточной для обработки материала. Требования к стабильности высокого напряжения сходны с требованиями в микроскопии.

В отличие от оптической литографии, электронный пучок способен создавать меньшие структуры, потому могут создаваться полупроводниковые приборы с более высокой плотностью упаковки. Фотошаблоны для оптической литографии также зачастую производятся с помощью электроннолучевой литографии.

Для научных исследований обычно используют электронный микроскоп, переделанный в систему электронной литографии, используя относительно дешевые аксессуары (< $100 тыс.). Такие переделанные системы создают ширину линии ~20 нм с 1990-х годов, в то время как специализированное оборудование позволят получать разрешение меньше 10 нм вплоть до 1 нм. Электронно-лучевая литография имеет более высокую стоимость, чем фотолитография, однако получаемое разрешение выше и при этом не требуется фотошаблона. Такую литографию используют для создания фотолитографических масок.

ООО Промтехсервис предлагает своим заказчикам модельный ряд новейших систем для электронно-лучевой литографии от комапнии FuG Elektronik GmbH, включающий в себя как лабораторные высокоточные, так и промышленные высокопроизводительные источники питания.

Принцип:

Пример:

HCV 23M - 6500: Высоковольтный источник питания для электронно-лучевой литографии

исходное напряжение: 0 – 6кВ, 0 – 500мкА

напряжение экстрактора: 0 – ±500В, макс

напряжение подавителя: 0 – ±500В, макс

волокно: 6 – 10В, макс. 2A